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探针台工作原理
阅读量:633 次
发布时间:2019-03-14

本文共 668 字,大约阅读时间需要 2 分钟。

手动探针台是一种广泛应用于半导体、光电、集成电路及封装测试领域的设备。它在复杂、高速器件的精密电气测量中发挥着重要作用,旨在确保产品质量及可靠性,同时降低研发时间和制造成本。通过在线测试,用户可以从芯片制造完成后就对器件进行质量监控,这使得探针台成为研究中的不可或缺工具,尤其在对集成电路、三极管、二极管及光电探测器等器件进行IV/CV参数测试时。

手动探针台通过连接待测物与测试仪器,结合自带驱动与测试软件,能够独立完成电学特性测试,为精密器件提供高效的测试平台。其与示波器、频谱仪等多种测试仪器的兼容性,使其成为研究人员的理想选择。

在操作流程上,探针台通过将待测物吸附在载物台上并推入探针台腔体内,利用探针座的精密移动,结合显微镜观察,将探针与待测物接触。随后,探针座上的电缆与仪表连接,借助自带软件完成参数测量与提取,结果可方便地进行保存与对比分析。

作为高性能探针台,产品具备以下特点:采用8英寸设计,探针移动范围达203mm或以上,提供宽大的测试空间,能够适用于裸芯片、封装芯片及器件的测试。同时,探针台支持光纤接口,未来可升级以满足光电测试需求。

在精度方面,载物台在XY方向具有±1pm(0.04mls)的分辨率,小于2μm(0.08mls)的重复精度,最大移动速度可达50mm/sec。Z方向则提供5mm(0.19in)的移动范围,分辨率及重复精度均为±1pm(0.04mls)。此外,系统支持软件控制载台的X、Y、Z方向位置,实现精确的测试参数调节。

这种设计不仅提升了测试效率,还为后续测试流程提供了高可靠性保障。

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